财中社12月6日电国信证券发布半导体行业光刻机产业深度系列专题讲明，光刻是先进制程的枢纽智力，半导体产业的基石，现在光刻机商场迎国产化机遇。光刻是一种图像复制技能，在芯片制造流程中耗时最长开云体育(中国)官方网站，本钱占比最高。行为先进制程的枢纽智力，光刻分辨率决定了元件的最小特征尺寸与芯片的集成度。光刻机为半导体建树金冠上的明珠，光学系统是其最进攻的子系统之一。光刻机行为统统半导体制造建树中难度最高、最难打破的一环，占晶圆分娩建树总商场的24%。

公共光刻机千亿东谈主民币商场范围且保合手高速增长。商场范围方面，2011年光刻机商场范围257亿好意思元。字据Market Intelligence，瞻望2022-2028年公共光刻机商场范围CAGR有望达到6%。出货量方面，ASML、Nikon、Canon三大光刻机供应商占据了99%以上商场份额，出货量稳步提高，2019-2023年CAGR达16.75%。光刻机行业属于寡头阁下样式，商场份额纠合，ASML出货量市占率63%，营收市占率81%。在高端光刻机（EUV、ArFi、ArF）商场，ASML的出货量占据上风，市占率分裂为100%/95%/87%。

国产光刻机空间遍及、任重谈远。陆资晶圆代工场产能合手续膨胀带动光刻机需求提高开云体育(中国)官方网站，好意思日荷对华先进制程阻塞，光刻机国产化大势所趋。上海微电子行为现在国内唯独前谈光刻机整机制造商，其自主研发的600系列前谈光刻机可批量分娩90nm工艺的芯片，500系列后谈制造光刻机占据80%以上国内商场。国产供应链方面，科益虹源行为我国唯独、公共第三家从事光刻准分子激光技能全链条研发的公司，193nm ArF准分子激光器完成出货。国望光学研发面向28nm节点的ArFi光刻曝光光学系统，国科精密团队奏效研制国内首套NA0.75 ArF曝光光学系统。华卓精科与清华大学团队合手续攻坚浸没式光刻机用双工件台DWSi。